環(huán)境空氣污染物——影響電子

半導體生產(chǎn)制造良率的“黑手”

電子半導體工業(yè)被譽為科技發(fā)展的基石，芯片雖小，卻是信息產(chǎn)業(yè)的“智慧大腦”，也是構(gòu)筑大國競爭力的核心產(chǎn)品之一。集成電路（芯片）從發(fā)明到現(xiàn)在歷經(jīng)60多年，已經(jīng)滲透到各個領(lǐng)域當中，改變了人類的生活。

集成電路（芯片）產(chǎn)業(yè)是一個非常復雜的體系，一般分為設(shè)計芯片、制造芯片和終端測試3個板塊。在芯片制造生產(chǎn)中，要確保每一塊芯片都有品質(zhì)保障，必須對每一個生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)的品質(zhì)進行嚴格把控，讓每個環(huán)節(jié)生產(chǎn)都是高標準、高良率。以復雜的CPU芯片為例，如果每一步的良率都是99%的話，看似問題微乎其微，但這些問題累計起來的最終良率將僅0.088%（0.99700），幾乎為零。只有當每步的良率為99.99%的時候（1萬顆芯片里面只壞1顆），最終良率才能上升到93.24%（0.9999700）。

在芯片的生產(chǎn)制造環(huán)境中，由于需要在納米級別尺度生產(chǎn)和加工集成電路，對空氣環(huán)境的潔凈度要求非常高，極其微小的懸浮粒子污染就會嚴重影響產(chǎn)品的質(zhì)量，即使是僅有10nm的微小粒子（也叫納米粒子），也會大大降低產(chǎn)品的生產(chǎn)出品良率。

TSI AeroTrak 10 nm潔凈室凝聚核粒子計數(shù)器(CPC)和0.1 μm粒子計數(shù)器——為電子半導體行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境空氣質(zhì)量把關(guān)

為了保障電子半導體產(chǎn)品的高良率，需要對生產(chǎn)環(huán)境中的空氣顆粒物污染進行嚴密監(jiān)測。高靈敏度粒子計數(shù)器可以提供從納米粒子到亞微米粒子等完整的環(huán)境監(jiān)測解決方案，滿足半導體更小工藝節(jié)點的生產(chǎn)要求。TSI AeroTrak 10nm潔凈室凝聚核粒子計數(shù)器(CPC)和0.1 μm粒子計數(shù)器(便攜式粒子計數(shù)器和遠程粒子計數(shù)器)是滿足半導體行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境關(guān)鍵需求的最佳組合。

獨一無二的10nm測量

AeroTrak® 9001不同于其它高流量水基凝聚核粒子計數(shù)器，AeroTrak® 9001不使用湍流混合和測量整個樣品流，能夠最小化顆粒物損失和提高計數(shù)精度。不同于酒精或其它非水基凝聚核粒子計數(shù)器，AeroTrak® 9001 不會向您的潔凈環(huán)境引入外部化學物質(zhì)。

TSI® 是 CPC 技術(shù)領(lǐng)域的世界級領(lǐng)先制造商，從 1979 年開始始終為全世界供應(yīng)商用儀器。全世界的國家和標準實驗室都在使用TSI® 生產(chǎn)的世界級分級器和凝聚核粒子計數(shù)器，AeroTrak® 9001 型潔凈室粒子計數(shù)器中采用了相同的技術(shù)。

特點與優(yōu)勢

• 10 nm 靈敏度

• 0.1CFM (2.83 L/min) 采樣流量

• 低誤計率 (< 0.07 顆粒物/ft3 實現(xiàn)了低顆粒物濃度條件下的精確測量快速響應(yīng)

• 使用超純水或去離子水作為工作液，無需向潔凈室引入酒精和有機化合物等化學物質(zhì)

• 數(shù)據(jù)存儲: 250 個區(qū)域, 999 個位置, 和 10,000 個樣品

• USB 接口, USB 存儲設(shè)備和以太網(wǎng)數(shù)據(jù)傳輸

• 使用 TrakPro? Lite Secure 軟件實現(xiàn)外部報告

• 行業(yè)音量最高警報

• 簡單的點擊圖標的觸摸屏操作

• 能夠儲存和檢索特定菜單和區(qū)域配置

• 可使用選配 AeroTrak® 7950 高壓擴散器（HPD) 測量高壓氣體 (CDA, N2, AR)

• 316L 不銹鋼機箱

值得信賴的0.1μm測量

AeroTrak® 9110型高靈敏度光學粒子計數(shù)器（OPC）檢測精度可低至 0.1 μm，它完全遵從 ISO-14644-1 標準，這款儀器適用于潔凈室監(jiān)測、過程監(jiān)控和過濾器測試應(yīng)用，能夠滿足電子半導體潔凈室應(yīng)用的苛刻要求，同時提供4年激光器保修。

特點與優(yōu)勢

• 精確測量 0.1 um 粒子

• 粒徑范圍為 0.1 μm至 10 μm

• 最多可同時測量八個通道數(shù)據(jù)

• 流量為1.0 CFM (28.3 L/min)

• 完全符合 ISO 21501-4 要求

• 是測量 1 級和 2 級潔凈室的最佳選擇

• 符合 ISO-14644-1, EU GMP Annex 1 和 FS209E 的報告

• 通過 TrakPro? Lite Secure 提供認證報告

• 使用增強的氦氖激光器

• 高度可重復和可靠的測量 / 數(shù)據(jù)

• 數(shù)據(jù)存儲量：250 個區(qū)域，999 個位置和10,000 個樣品

• USB 接口、U盤、以太網(wǎng)和脈沖輸出

• 業(yè)內(nèi)聲量最大的聲光警報

• 允許儲存和取消指定的菜單和區(qū)域配置

• 最高顯示三種環(huán)境參數(shù)

• 不銹鋼機箱

• 與 M32-01 Manifold 多點采樣完美集成

• 兩年產(chǎn)品工藝和材料保修

• 四年激光保修